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Meccanismi e modelli dei fenomeni d'erosione provocati dall'interazione plasma-superficie /

by Campo, Alessio (AleKampo) [aut]; Angilella, G. G. N [ths]; La Magna, Antonino [ths].
Material type: materialTypeLabelBookPublisher: Catania : Scuola Superiore di Catania, 2009Description: 35 p. : ill. ; 30 cm.Subject(s): @IBM | Surfaces (Physics) | Plasma (Ionized gases)
Contents:
Introduzione -- Elementi di fisica dei plasmi -- Modello di Langmuir -- Simulazioni Monte Carlo -- Conclusioni -- Ringraziamenti.
Dissertation note: Tesi di diploma di 1° livello per la Classe delle Scienze Sperimentali Diploma di 1° livello Scuola Superiore di Catania, Catania, Italy 2009 A.A. 2008/2009 Abstract: Lo studio delle proprietà di superfici e interfacce ha ricevuto un grande impulso grazie allo sviluppo delle tecniche di microlavorazione necessarie alla fabbricazione di dispositivi elettronici. In questo settore l’esigenza di realizzare dispositivi su scale nanometriche ha reso sempre più interessante lo studio dell’evoluzione delle superfici a livello atomico, non solo dal punto di vista sperimentale, ma anche sul piano teorico-computazionale. L’attenzione è stata dunque rivolta ai meccanismi atomistici che consentono lo studio della dinamica delle superfici e alla predizione, tramite modelli analitici e stocastici, dei profili superficiali durante processi di attacco e deposizione. Le simulazioni, in tal caso, non solo permettono il confronto con l’analisi sperimentale, ma sono anche di grande aiuto per la progettazione delle strutture volute e, in particolare, per il raggiungimento di un notevole risparmio, in termini di tempo e costi, nella realizzazione di dispositivi. Il presente lavoro si occupa dei meccanismi di erosione provocati dall’interazione plasma-superficie ed ha come scopo quello di confrontare un modello analitico del fenomeno, basato sul modello di Langmuir, con le simulazioni dei processi di attacco effettuate tramite tecniche Monte Carlo. Nel primo capitolo introdurremo il concetto di plasma e ci soffermeremo sulla sinergia ioni-atomi neutri nell’erosione dovuta a plasmi; nel secondo capitolo sarà descritto il modello di Langmuir e verranno presentati alcuni risultati ottenuti sulla base di tale modello; infine nel terzo capitolo verrà presentato il metodo Monte Carlo e le simulazioni di processi di attacco effettuate. L’applicazione delle tecniche Monte Carlo in casi in cui si possono ottenere soluzioni analitiche ci permetterà di effettuare un test del simulatore Monte Carlo utilizzato. In tal senso questo lavoro può dirsi propedeutico allo studio dell’erosione in casi reali, che si riserva ad un lavoro futuro.
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Location Call number Copy number Status Date due
Sala B : Armadio Tesi THS_2009 620.44 C1981 (Browse shelf) 1 Available
Sala B : Armadio Tesi THS_2009 620.44 C1981 (Browse shelf) 2 Available

Tesi di diploma di 1° livello per la Classe delle Scienze Sperimentali Diploma di 1° livello Scuola Superiore di Catania, Catania, Italy 2009 A.A. 2008/2009

Includes bibliographical references (p. 35).

Introduzione -- Elementi di fisica dei plasmi -- Modello di Langmuir -- Simulazioni Monte Carlo -- Conclusioni -- Ringraziamenti.

Tesi discussa il 27/11/2009.

Lo studio delle proprietà di superfici e interfacce ha ricevuto un grande impulso grazie allo sviluppo delle tecniche di microlavorazione necessarie alla fabbricazione di dispositivi elettronici. In questo settore l’esigenza di realizzare dispositivi su scale nanometriche ha reso sempre più interessante lo studio dell’evoluzione delle superfici a livello atomico, non solo dal punto di vista sperimentale, ma anche sul piano teorico-computazionale. L’attenzione è stata dunque rivolta ai meccanismi atomistici che consentono lo studio della dinamica delle superfici e alla predizione, tramite modelli analitici e stocastici, dei profili superficiali durante processi di attacco e deposizione. Le simulazioni, in tal caso, non solo permettono il confronto con l’analisi sperimentale, ma sono anche di grande aiuto per la progettazione delle strutture volute e, in particolare, per il raggiungimento di un notevole risparmio, in termini di tempo e costi, nella realizzazione di dispositivi. Il presente lavoro si occupa dei meccanismi di erosione provocati dall’interazione plasma-superficie ed ha come scopo quello di confrontare un modello analitico del fenomeno, basato sul modello di Langmuir, con le simulazioni dei processi di attacco effettuate tramite tecniche Monte Carlo. Nel primo capitolo introdurremo il concetto di plasma e ci soffermeremo sulla sinergia ioni-atomi neutri nell’erosione dovuta a plasmi; nel secondo capitolo sarà descritto il modello di Langmuir e verranno presentati alcuni risultati ottenuti sulla base di tale modello; infine nel terzo capitolo verrà presentato il metodo Monte Carlo e le simulazioni di processi di attacco effettuate. L’applicazione delle tecniche Monte Carlo in casi in cui si possono ottenere soluzioni analitiche ci permetterà di effettuare un test del simulatore Monte Carlo utilizzato. In tal senso questo lavoro può dirsi propedeutico allo studio dell’erosione in casi reali, che si riserva ad un lavoro futuro.

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