Meccanismi e modelli dei fenomeni d'erosione provocati dall'interazione plasma-superficie / (Record no. 3139)

000 -LEADER
fixed length control field 03284nam a22003257a 4500
003 - CONTROL NUMBER IDENTIFIER
control field IT-CtSSC
005 - DATE AND TIME OF LATEST TRANSACTION
control field 20180127072750.0
008 - FIXED-LENGTH DATA ELEMENTS--GENERAL INFORMATION
fixed length control field 140220s2009 it a m 000 0 ita d
040 ## - CATALOGING SOURCE
Original cataloging agency IT-CtSSC
Transcribing agency IT-CtSSC
082 #4 - DEWEY DECIMAL CLASSIFICATION NUMBER
Classification number 620.44
100 1# - MAIN ENTRY--PERSONAL NAME
Relator code aut
Personal name Campo, Alessio
Fuller form of name (AleKampo),
Dates associated with a name 1986-
245 10 - TITLE STATEMENT
Title Meccanismi e modelli dei fenomeni d'erosione provocati dall'interazione plasma-superficie /
Statement of responsibility, etc. Alessio Campo ; relatori: A. La Magna, G.G.N. Angilella.
260 ## - PUBLICATION, DISTRIBUTION, ETC. (IMPRINT)
Place of publication, distribution, etc. Catania :
Name of publisher, distributor, etc. Scuola Superiore di Catania,
Date of publication, distribution, etc. 2009.
300 ## - PHYSICAL DESCRIPTION
Extent 35 p. :
Other physical details ill. ;
Dimensions 30 cm.
336 ## - CONTENT TYPE
Source rdacontent
Content type term text
Content type code txt
337 ## - MEDIA TYPE
Source rdamedia
Media type term unmediated
Media type code n
338 ## - CARRIER TYPE
Source rdacarrier
Carrier type term volume
Carrier type code nc
502 ## - DISSERTATION NOTE
Dissertation note Tesi di diploma di 1° livello per la Classe delle Scienze Sperimentali
Degree type Diploma di 1° livello
Name of granting institution Scuola Superiore di Catania, Catania, Italy
Year degree granted 2009
Miscellaneous information A.A. 2008/2009
504 ## - BIBLIOGRAPHY, ETC. NOTE
Bibliography, etc Includes bibliographical references (p. 35).
505 ## - FORMATTED CONTENTS NOTE
Formatted contents note Introduzione -- Elementi di fisica dei plasmi -- Modello di Langmuir -- Simulazioni Monte Carlo -- Conclusioni -- Ringraziamenti.
518 ## - DATE/TIME AND PLACE OF AN EVENT NOTE
Date/time and place of an event note Tesi discussa il 27/11/2009.
520 3# - SUMMARY, ETC.
Summary, etc. Lo studio delle proprietà di superfici e interfacce ha ricevuto un grande impulso grazie allo sviluppo delle tecniche di microlavorazione necessarie alla fabbricazione di dispositivi elettronici. In questo settore l’esigenza di realizzare dispositivi su scale nanometriche ha reso sempre più interessante lo studio dell’evoluzione delle superfici a livello atomico, non solo dal punto di vista sperimentale, ma anche sul piano teorico-computazionale. L’attenzione è stata dunque rivolta ai meccanismi atomistici che consentono lo studio della dinamica delle superfici e alla predizione, tramite modelli analitici e stocastici, dei profili superficiali durante processi di attacco e deposizione. Le simulazioni, in tal caso, non solo permettono il confronto con l’analisi sperimentale, ma sono anche di grande aiuto per la progettazione delle strutture volute e, in particolare, per il raggiungimento di un notevole risparmio, in termini di tempo e costi, nella realizzazione di dispositivi. Il presente lavoro si occupa dei meccanismi di erosione provocati dall’interazione plasma-superficie ed ha come scopo quello di confrontare un modello analitico del fenomeno, basato sul modello di Langmuir, con le simulazioni dei processi di attacco effettuate tramite tecniche Monte Carlo. Nel primo capitolo introdurremo il concetto di plasma e ci soffermeremo sulla sinergia ioni-atomi neutri nell’erosione dovuta a plasmi; nel secondo capitolo sarà descritto il modello di Langmuir e verranno presentati alcuni risultati ottenuti sulla base di tale modello; infine nel terzo capitolo verrà presentato il metodo Monte Carlo e le simulazioni di processi di attacco effettuate. L’applicazione delle tecniche Monte Carlo in casi in cui si possono ottenere soluzioni analitiche ci permetterà di effettuare un test del simulatore Monte Carlo utilizzato. In tal senso questo lavoro può dirsi propedeutico allo studio dell’erosione in casi reali, che si riserva ad un lavoro futuro.
610 2# - SUBJECT ADDED ENTRY--CORPORATE NAME
Corporate name or jurisdiction name as entry element @IBM.
650 #0 - SUBJECT ADDED ENTRY--TOPICAL TERM
Topical term or geographic name as entry element Surfaces (Physics).
650 #0 - SUBJECT ADDED ENTRY--TOPICAL TERM
Topical term or geographic name as entry element Plasma (Ionized gases).
700 1# - ADDED ENTRY--PERSONAL NAME
Relator code ths
Personal name Angilella, G. G. N.
700 1# - ADDED ENTRY--PERSONAL NAME
Relator code ths
Personal name La Magna, Antonino.
912 ## - Local use
Cataloger initials G. G. N. Angilella
942 ## - ADDED ENTRY ELEMENTS (KOHA)
Koha item type Tesi di Diploma, Master, PhD
Source of classification or shelving scheme
Holdings
Price effective from Date last seen Permanent Location Not for loan Date acquired Source of classification or shelving scheme Koha item type Barcode Lost status Damaged status Shelving location Withdrawn status Current Location Copy number Full call number
2014-11-292014-11-29Biblioteca Allievi 2014-11-29 Tesi di Diploma, Master, PhDAA003134  Sala B : Armadio Tesi Biblioteca Allievi1THS_2009 620.44 C1981
2014-11-292014-11-29Biblioteca Allievi 2014-11-29 Tesi di Diploma, Master, PhDAA003135  Sala B : Armadio Tesi Biblioteca Allievi2THS_2009 620.44 C1981